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  • 固定在線式三氟化氮檢測報警儀
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固定在線式三氟化氮檢測報警儀

產品描述:

ERUN-PG51NF3固定在線式三氟化氮檢測報警儀適用于半導體芯片、平板顯示器、光纖、光伏電池等使用三氟化氮NF3作為等離子蝕刻氣體和反應腔清洗劑的工況場所,固定式三氟化氮泄漏檢測儀可以連續實時在線監測空氣中三氟化氮的濃度值及泄漏狀況。在線式氟化氮NF3濃度報警探測器能夠在監測到三氟化氮濃度達到或超過儀器預設的報警濃度值時時就會發出聲光報警,信號遠程傳輸至值班室監控主機上同步顯示氟化氮的濃度值和報警狀態,并自動聯鎖控制排氣風機進行通風換氣。

產品型號: ERUN-PG51NF3
產品認證:
固定在線式三氟化氮檢測報警儀認證證書
可檢測氣體:
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  • 產品介紹
  • 產品參數
  • 功能特點
  • 產品配置
  • 服務保障
檢測氣體 三氟化氮NF3
量程分辨率 NF3:0-50ppm、0.01ppm、進口高精度電化學原理傳感器

NF3:0-1000ppm、0.1ppm、進口高精度電化學原理傳感器

其他量程、原理、分辨率可訂制
檢測精度 ≤±3%F.S(更高精度可訂制)
重 復 性 ≤±2%
線 性 度 ≤±2%
不確定度 ≤±2%
響應時間 T90≤20秒
恢復時間 ≤30秒
信號輸出 總線制RS485(Modbus-RTU),分線制4~20mA,
選配:0~20mA、1~5V、0~5V、0~10V、無線傳輸、網絡傳輸、短信報警。
工作方式 固定式安裝,在線檢測,擴散式測量;可選管道式、流通式、泵吸式測量。
顯示方式 現場1.7寸高清彩屏顯示,可選現場無顯示,或選配ERUN-PG32E控制器遠程顯示、控制、報警
報警方式 默認1路,可選2路無源觸點(干節點)輸出,三級報警,報警點可設置
現場聲光報警
安裝方式 管道式、壁掛式。管道式的工作壓力為大氣壓±30%,超出范圍需降壓處理。
工作電壓 12~30VDC直流,單臺設備的標準電源為24V,1A或大于1A 的直流穩壓開關電源
工作環境 溫度:-40℃~+70℃,濕度:≤10~95%RH (常規)非凝露場合
在凝露場合使用須訂制或訂貨時注明使用環境
電氣接口 3/4NPT,可選M20*1.5內螺紋、1/2NPT
連接電纜 4~20mA選三芯屏蔽電纜,RS485選四芯,距離超1000米時單根線徑≥1.5mm;屏蔽層接大地。
防護等級 IP65級防水防塵
防爆類型 隔爆型,Ex d ⅡC T6 Gb級防爆
外型尺寸 210×170×85mm(L×H×W)
重    量 1600g
信譽單位

信譽單位

陜西省AAA級信譽單位

國內頂尖服務商

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6年來被評為國內頂尖服務商

技術人員

技術人員

公司擁有150多名高級技術人員

合作客戶

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累計合作客戶2000+

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