三氯硅烷(三氯氫硅)氣體檢測報警儀從類型上可以分為固定在線式三氯氫硅蒸汽濃度檢測儀和便攜手持式三氯硅烷氣體泄漏報警器兩大類，主要用于使用三氯硅烷SiHCl3作為原料的化工生產儲運場所中檢測環境空氣中揮發泄漏積聚的三氯氫硅蒸汽的濃度值，并超標進行聲光振動報警，4-20mA、RS485信號遠程傳輸，以提醒作業人員注意，并可選配精密氣體采樣泵、溫濕度檢測、無線傳輸等附件或功能。